某半导体材料集成ic造成厂在晶圆代加工流程中，用到硅烷做好硅外延性植物生长，汽车尾气洗衣机清洗塔导致高渗透压含硅生活污水。生活污水含有pH下降大（2-11）、硅含水量高的特质，传统式净化处理工艺易显示硅垢淤塞故障。 废污水部分及由来 废水处理最主要因素为： 溶于性硅酸盐 ：SiO₂密度达1000-1500mg/L 氢被氧化钾/氢被氧化钠 ：清洗塔酸碱平衡清洗液残存 颗粒剂硅 ：nm级SiO₂溶液 痕量砷 ：物料硫氰酸盐带 加工处理艺流程图 改革创新主要包括"多级采和+膜滤过+减压蒸馏成果"生产工艺： 一个与 ：用CaO改善pH至4-5，绘制硅酸钙沉积，硅的还原率60%。 下级与 ：加Na₂CO₃将pH优化至9，进这一步沉淀物结余硅，并接用镁剂除砷。 超滤膜控制系统 ：0.02μm瓷质膜过滤器nm级硅颗粒状，通量稳定性高在80LMH。 MVR多效冷却器 ：沉淀高盐废液，沉淀出Na₂SO₄副企业产品，水回收利用率超90%。 终于特效 总硅从1500mg/L低于5mg/L以下的 砷含量的从0.8mg/L降落到0.01mg/L 软件无结渣作业多于2年 每人每年再利用浓盐酸钠硫化锌约800吨