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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆制造线搭配的超纯净水体统,一天生产含硅生产废水150吨。生产废泥中虽无巨资属,但硅纯度高易积垢,且电阻器率需充分满足18MΩ·cm功能回收。原本有治疗新工艺無法充分满足新发布的《智能实业水造成的工业废气进行相关排污标准规定》(GB39731-2020)特备进行排污最大限度。 废水处理营养成分共同点 大部分环境破坏物 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、粒状硅(粒度0.1-1μm) 特殊的的标准 :TOC<10μg/L,硼含铁<5μg/L 生活饮用水性能 :低电阻率(<50μS/cm)但硅类化合物社会形态多样化 清理生产技术流程步骤 去创新主要采用"梯级膜分割+电去亚铁离子"组合式工艺流程: 微滤预工作 :1μm陶瓷厂家膜屏蔽大粒子硅,通量提升80LMH 阴离子对调硅胶粘合剂 :D201大孔环氧树脂选泽性活性炭吸附硅酸分子结构 一级RO设备 :首段收旧率60%,二、段采取高脱硼膜器件 EDI电去铝离子 :直流电压容重2A/m²,定期清掉多余亚铁离子 UV紫外线杀菌消毒 :254nm分光光度计线用药量40mJ/cm² 技术水平不足之处 规划设计上用阻硅剂(有机肥料胺类挽回物),抑制膜破坏寿命3倍 EDI模块电源科学创新流道设汁,硅我们要除率升降至99.8% 在线平台硅深入检测仪(检测范围图0.1-500μg/L)构建脱贫攻坚管理 启动认真总结 经第乙方方检侧: 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼含水量从8μg/L降下来0.3μg/L 软件系统二手回再回收率从原40%加快至68% 膜进行更换时间段延缓至5年,年行驶成本费用降底35%

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